主な研究設備

■超伝導マグネット付き冷凍機（attocube社製）

　　　　　　

外観

内部

■ 低振動無冷媒冷凍機（仁木工芸）

■ 分子線エピタキシー装置

■ 電子線蒸着装置

■ スパッタ装置（2台）

■ マスクレス露光システム

■ ワイヤーボンダー（westbond社製）

■ ドラフトチャンバー